关键词: mems技术  交叉学科  发展全貌  科学与技术  分类介绍  石墨烯  典型应用  主体内容  

2019年第06期 《机械设计与研究》

关键词: 压力传感器  模拟信号  传感器芯片  相对压力  系统级封装  mems技术  数字信号处理技术  蒸汽压力  

2019年第11期 《传感器世界》

关键词: mems技术  意法半导体  压电式  薄膜  自动对焦功能  压电执行器  制造领域  压电技术  

2015年第01期 《集成电路通讯》

关键词: mems技术  微型化  癌症患者  产品  世界卫生组织  死亡人数  数据表  联合国  

2012年第03期 《科技中国》

关键词: 晶体振荡器  小型化  mems技术  频率稳定度  主干网络  激励电极  高频率  高速化  

2008年第19期 《中国工业评论》

关键词: mems技术  电子通信产业  价值  

2018年第15期 《数码设计》

关键词: mems技术  微型热泵  微细加工技术  微型化  

2010年第03期 《华北理工大学学报·自然科学版》

关键词: mems技术  监控预警  实时在线监测  

2016年第09期 《煤炭技术》

关键词: mems技术  多通道人机界面  

2011年第09期 《电影评介》

关键词: 航空动力  mems技术  涡轮喷气发动机  

2016年第34期 《科技创新导报》

关键词: mems技术  电子通信  产业  意义  

2018年第18期 《智能城市》

关键词: mems技术  微型传感器  特点  智能化  多功能化  

2005年第09期 《仪表技术与传感器》

关键词: 高频继电器  mems技术  加速度传感器  半导体继电器  机械继电器  松下电工  三轴加速度  今日电子  磁回路  活动结构  

2005年第06期 《半导体信息》

关键词: 技术供应商  mems技术  降低损耗  智能手机  天线性能  移动设备  收购  天线调谐  

2019年第05期 《半导体信息》

关键词: mems谐振器  村田制作所  研发  mems技术  电子元器件  esr特性  频率精度  低功耗  

2018年第06期 《半导体信息》

关键词: 微电子冷却技术  微热沉系统  mems技术  电子芯片  微通道  掺杂  系统设计  

2004年第01期 《微细加工技术》

关键词: mems技术  射频移相器  微电子机械系统  开关  相控阵天线  插入损耗  rf性能  

2004年第01期 《微细加工技术》

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2004年第01期 《微细加工技术》

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2004年第02期 《航空发动机》

关键词: 全光网络  mems技术  光传输系统  交换结构  波长选择  可靠性  一维  关键技术  

2004年第04期 《光子技术》