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期刊收录
出版地区
离子刻蚀模板浇铸法制备网络状炭纳米线第11-14页
关键词: 炭纳米线  网状结构  离子刻蚀  纳米浇筑  
石英晶体离子刻蚀微调原理与应用第74-75页
关键词: 石英晶体  离子刻蚀  离子枪工作原理  频率  放电  
2010年第14期 《中国高新科技》
稀土稳定四方多晶氧化锆陶瓷相变微结构的表征第1057-1064页
关键词: 四方多晶氧化锆陶瓷  扫描电子显微镜  能谱仪  离子刻蚀  相变  
2019年第08期 《硅酸盐学报》
高温超导材料本征结制备技术第52-53页
关键词: 高温超导材料  本征结  制备技术  离子刻蚀  
2004年第05期 《科学观察》
华虹半导体功率器件平台累计出货量突破500万片晶圆第90-90页
关键词: 半导体功率器件  等离子体刻蚀  离子刻蚀  半导体设备  导通电阻  开关速度  光刻胶  去胶  开关损耗  等离子体蚀刻  
2017年第04期 《集成电路应用》
O2/SF6混合气体对光刻胶的离子刻蚀研究第41-44页
关键词: 离子刻蚀  干法刻蚀  灰化速率  光谱  
2007年第10期 《现代显示》
P型HgCdTe离子刻蚀成结机理分析第71-75页
关键词: hgcdte  环孔工艺  离子刻蚀  
2007年第02期 《红外技术》
反应离子刻蚀离子刻蚀方法的研究与比较第224-227页
关键词: 反应离子刻蚀rie  离子刻蚀  sem成像  
2006年第03期 《低温物理学报》
石英晶体离子刻蚀微调原理与应用第74-75页
关键词: 石英晶体  离子刻蚀  离子枪工作原理  频率  放电  
Ar^+离子刻蚀对苹果表皮的剥离效果分析第280-282页
关键词: 离子刻蚀  苹果表皮  显微结构  剥离效果  
2010年第01期 《江苏农业科学》
电子回旋共振微波等离子体刻蚀α:CH薄膜的工艺第683-686页
关键词: 离子刻蚀  电子回旋共振微波等离子体  微齿轮  
2008年第04期 《强激光与粒子束》
离子刻蚀对磁控溅射氧化铝薄膜的影响第9-10页
关键词: 离子刻蚀  磁控溅射  陶瓷薄膜  阻隔性  
2008年第07期 《包装工程》
离子刻蚀工艺表面演化仿真的三维元胞模型第1206-1212页
关键词: 离子刻蚀  三维元胞模型  边界时间最短优先移动法  滚轮搜索法  
2013年第11期 《高技术通讯》
无驱动结构硅微机械陀螺芯片的离子刻蚀技术第26-29页
关键词: 横向腐蚀  微机械陀螺  刻蚀速率  离子刻蚀  
高可靠性、高基频及小延时晶体滤波器第365-367页
关键词: 晶体滤波器  高可靠性  基频  小延时  离子刻蚀  
2015年第03期 《压电与声光》
包含等离子体辅助沉积参数和离子刻蚀作用过程的结构区域相图第1-6页
关键词: 结构区域相图  薄膜制备  等离子体辅助  离子刻蚀  应力  形貌  同系温度  位能与动能  
2016年第01期 《中国表面工程》