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应用于准分子激光的透镜阵列均束器第279-281页
关键词: 准分子激光  积分  均束器  透镜阵列  能量  掩膜  
2005年第03期 《光电子激光》
基于波导管的无缝扫描光刻激光均束设计第615-617页
关键词: 准分子激光器  均束器  光波导管  光刻  无缝扫描  光学设计  
2009年第04期 《光学技术》
印刷电路板激光投影成像照明系统均匀性分析第360-365页
关键词: 激光技术  均束器  激光投影成像光刻  xef准分子激光  印刷电路板  加工窗  
2009年第03期 《量子电子学报》
高斯光束均束器光学系统设计第34-38页
关键词: 光学设计  高斯光束  均束器  zemax  非球面  
2013年第07期 《光电工程》
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