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化学增幅抗蚀剂用光产酸剂--硫鎓盐的合成方法第55-58页
关键词: 光产酸剂  193nm  光致抗蚀剂  化学增幅  硫鎓盐  
化学增幅型高感度阴图PS版”项目技术鉴定会在威海举行第60-60页
关键词: 阴图ps版  化学增幅  鉴定会  高感度  项目  环境监测报告  工作报告  技术报告  检测报告  使用报告  威海市  教育部  委员会  
2005年第06期 《今日印刷》
一种高感度深紫外正性化学增幅型抗蚀剂的制备第896-901页
关键词: 光致抗蚀剂  深紫外  化学增幅  聚对羟基苯乙烯  缩醛  
水溶性光致抗蚀剂研究进展第69-79页
关键词: 水溶性光致抗蚀剂  化学增幅  正型  负型  
化学增幅型光致抗蚀剂用光产酸剂第45-47页
关键词: 化学增幅  光致抗蚀剂  光产酸剂  
248nm光致抗蚀剂成膜树脂研究进展第37-43页
关键词: 248nm光致抗蚀剂  化学增幅  成膜树脂  聚对羟基苯乙烯  非化学增幅  
2008年第02期 《信息记录材料》
高酸解性聚合物的合成及应用第53-57页
关键词: 化学增幅  芳香酯缩醛聚合物  二乙烯基醚  光产酸剂  感度  ctp版材  
2010年第08期 《应用科技》
单组分化学增幅型光致抗蚀剂LB膜的制备及光刻应用第228-230页
关键词: 光致产酸剂  化学增幅  lb膜技术  光刻  
2015年第08期 《化工新型材料》