共振隧穿薄膜论文

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GaAs微结构中共振隧穿薄膜介观压阻效应研究第702-705页

关键词: 共振隧穿薄膜介观压阻效应砷化镓基微结构

2006年第09期《半导体技术》

GaAs基共振隧穿微加速度计的研究第235-237页

关键词: 加速度计共振隧穿薄膜双空气桥工艺控制孔工艺

2007年第07期《微纳电子技术》

基于介观压阻效应的GaAs／AlAs/In0.1Ga0.9As贴膜微机械陀螺的设计第61-63页

关键词: 微机械陀螺介观压阻效应共振隧穿薄膜

2008年第05期《弹箭与制导学报》

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