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半导体硅片加工过程复合控制策略研究及仿真第1924-1927页
关键词: 半导体  硅片加工  控制策略  调度策略  投料策略  仿真  
2005年第08期 《系统仿真学报》
叶甜春：对国产半导体设备厂商发展的建议第79-81页
关键词: 半导体设备  太阳能电池  厂商  国产  集成电路材料  硅片加工  材料制备  发光二极管  
2017年第06期 《电子工业专用设备》
复合优先级控制策略研究及其在半导体生产线调度中的应用第2005-2009页
关键词: 硅片加工  投料  调度  控制  复合优先级  仿真  
2005年第22期 《中国机械工程》
IC CHINA特别报道第47-48页
关键词: 集成电路技术  ic  制造技术  市场需求  硅片加工  生产工艺  大直径  二十一世纪  
2006年第10期 《电子与封装》
硅片加工关键设备国产化解决方案第36-38页
关键词: 硅片加工  设备国产化  自主知识产权  设备价格  加工企业  加工成本  金融危机  
2012年第07期 《现代制造》
中国太阳能电池制造设备的现状及发展第81-81页
关键词: 硅片加工  硅材料生产  多晶铸锭炉  
2013年第01期 《科技资讯》
我国光伏设备技术发展现状与趋势第25-27页
关键词: 检测设备  技术发展现状  光伏  材料生产  硅片加工  pecvd  太阳电池  纯水制备  
2016年第06期 《太阳能》
游离磨料线切割硅晶体中的磨粒力学行为研究综述第47-52页
关键词: 游离磨料  线切割  力学行为  硅片加工  
2011年第01期 《金刚石与磨料磨具工程》
单片湿法刻蚀机供酸管路系统设计第30-33页
关键词: 硅片加工  湿法刻蚀  化学管路系统  
2009年第10期 《电子工业专用设备》
SPI新型激光器用于硅片切割第114-114页
关键词: 硅片加工  激光器  切割  spi  激光技术  半导体制造  太阳能电池  yvo4  
2009年第10期 《激光与光电子学进展》
总投资25亿元绿色光伏产业基地试产第1-1页
关键词: 产业基地  总投资  试产  光伏  硅片加工  产业化项目  半导体材料  单晶材料  
2009年第11期 《机电工程技术》
游离磨料线锯硅晶体表面质量和加工精度实验研究第24-28页
关键词: 游离磨料  线切割  正交试验  硅片加工  
2014年第05期 《机电工程技术》
铸锭多晶硅电池生产流程及信息跟踪第35-37页
关键词: 光伏材料  多晶硅  硅片加工  信息跟踪  
2014年第04期 《化工时刊》
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