关键词: 半导体设备真空泵  设备维修  故障分析  旋片泵  分子泵  低温泵  

2020年第05期 《设备管理与维修》

关键词: 通用变频器  矢量控制  分子泵  转速  电动机  主电机  电机启动  功能  磁场  追踪  

2012年第05期 《电气技术与经济》

关键词: 分子泵  怠速除气  高真空保持  

2019年第05期 《真空电子技术》

关键词: 三重四极杆  质谱仪  离子源  分子泵  解决方案  

2019年第11期 《中国医学装备》

关键词: c200  功能表  分子泵  追踪  通用变频器  矢量控制  应用  

2012年第06期 《国内外机电一体化技术》

关键词: 陶瓷球轴承  分子泵  弹流润滑  试验机  

2018年第08期 《机械设计与制造》

关键词: 分子泵  维修成本  保养维修  电镀机  bps  

2005年第02期 《光盘技术》

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2019年第03期 《工业仪表与自动化装置》

关键词: 真空抽气系统  系统设计  可靠性  超导托卡马克装置  分子泵  

2004年第02期 《真空》

关键词: 通用变频器  矢量控制  分子泵  转速  电动机  主电机  电机启动  功能  磁场  追踪  

2012年第05期 《电工文摘》

关键词: 真空泵  市场  真空度  工作原理  分子泵  低温泵  半导体设备  镀膜装置  排气系统  

2004年第05期 《通用机械》

关键词: 分子泵  抽速  导流叶列  

2005年第05期 《真空科学与技术学报》

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2017年第08期 《现代制造技术与装备》

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2017年第10期 《机床与液压》

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2017年第02期 《微特电机》

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2017年第01期 《岭南现代临床外科》

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2016年第06期 《真空》

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2016年第08期 《微特电机》

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2006年第01期 《真空》

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2007年第02期 《真空》