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低刚度石英加速度计摆片加工工艺第44-46页
关键词: 低刚度  摆片加工  研磨  刻蚀  镀膜  
2015年第S1期 《物探与化探》
低刚度石英加速度计摆片加工工艺第44-46页
关键词: 低刚度  摆片加工  研磨  刻蚀  镀膜  
2015年第B12期 《物探与化探》