作者：杨志锋; 王翔; 王旭实验设计混料试验光刻胶剥离液
摘要：通过混料实验设计筛选出合适的光刻胶剥离液体系及组份含量。对剥离液体系进行持续溶解监控,借助六西格玛过程控制分析确定更优的剥离液组合物。溶胶量的测试结果证明,含溶剂二乙二醚丁醚、N-甲基吡咯烷酮、乙醇胺及添加剂200的剥离液,其溶胶量可超4.1 m^2/加仑,这样就可以减少光刻胶剥离液开槽次数,提高生产效率,降低成本。
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