作者:杨春容; 袁正希; 薛书文; 邓宏掺铝氧化锌薄膜c轴取向光学带隙结合能
摘要:采用溶胶-凝胶法在硅(100)和玻璃衬底上制备了掺铝氧化锌(ZnO:Al)薄膜.当掺Al^3+浓度小于或等于15%时,得到的薄膜均为单一c轴取向.c轴晶格常数随掺Al^3+浓度的增加逐渐减小,当掺Al^3+浓度增至15%时,薄膜c轴晶格常数值减小约0.56%.薄膜的光学带隙随掺Al^3+浓度的增加而增大,掺Al3+20%的薄膜光学带隙达到3.99eV.O1s结合能随掺Al^3+浓度的增加而增大.
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