作者：黄振; 郭媛媛; 刘磊; 邓洪运; 李湘宁; 付...类金刚石薄膜相结构结合力摩擦学性能
摘要：采用低温等离子体辅助氮化和等离子体增强化学气相沉积技术在316L奥氏体不锈钢表面制备氮化复合类金刚石薄膜。分别采用X射线衍射仪、拉曼光谱检测渗氮层和DLC薄膜成分及相结构,采用纳米压痕仪、划痕仪、摩擦磨损试验机测试薄膜的摩擦学性能。结果表明,在氮化处理的316L表面沉积DLC薄膜,氮化4 h时,可以显著提高其表面耐磨性,摩擦系数降低至0.1;经1 h氮化且无析出物时,DLC薄膜与基体间的结合力提高22%。
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