作者：肖佳; 征卫星ito靶材透明导电膜常压烧结法
摘要：随着电子工业的飞速发展，高性能、大尺寸的氧化铟锡（ITO）靶材需求量与日俱增。本文概述了ITO靶材的制造技术和应用，并对目前国内外ITO靶材现状和发展进行了一定的分析和研究。
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