作者：何连起多晶硅后处理硅棒硅芯酸洗煅烧
摘要：多晶硅后处理生产工艺是多晶硅生成后的二次加工过程,国内目前没有成熟的设计方案。基于多晶硅后处理工程设计经验,介绍了该工艺的生产任务、原料要求及最终产品,阐述了其生产工艺的各个工序的设计要点与要求,以及工艺改进与平面布置,供同行参考。
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