作者：赵涛; 张毅; 陈英颖; 吴则嘉; 刘晓晗; 杨...镜反射纳米硅薄膜衬底温度直流电压掺杂浓度本征掺杂
摘要：研究探讨了镜反射红外光谱在纳米材料方面的应用.通过等离子化学气相沉积法(PECVD),制备本征和掺磷的纳米硅薄膜(nc-Si:H),利用镜反射红外光谱研究了本征和掺磷的纳米硅薄膜的光谱特征.通过实验,发现这两种薄膜中都存在多氢键合方式,PECVD工艺参数如衬底温度、直流电压和掺杂浓度对薄膜结构具有一定的影响.
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《理化检验·化学分册》（CN：31-1337/TB）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《理化检验·化学分册》主要报道材料的化学分析与仪器分析专业领域中的新方法、新技术、新设备以及国内外的研究方向。“面向生产、注重实用、反映动向、兼顾普及”是刊物的编辑主针，旨在最大幅度地满足不同层次读者的需要。
省级期刊
人气 1066
