作者:翟若炜微机电系统mems智能控制应用与展望
摘要:微机电系统是一种建立在微电子加工技术基础上发展起来的新兴前沿研究梁宇。它很好的融合了电子工程、微机械制造、材料工程、传感及微控制等领域的研究,是当前非常受到世界瞩目的重大科技创新之一。其应用与发展,必将成为未来建立在计算机网络基础上发展起来的科技社会的主导。本文通过个人的了解,简要介绍了微机电系统的发展与基本技术、微机电系统相关传感器的应用,并就微机电系统的热点应用进行了畅想与展望。
注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社