作者：耿宁佳; 白春杰; 谷鹏半导体硅外延材料表面质量颗粒暗点滑移线
摘要：外延片是制作分立器件的基础性材料,在半导体材料的研究和生产过程中发挥着重要的作用。为了保证半导体材料的质量,提升材料的合格率和利用效率,就需要对基础性材料外延片的质量进行优化和研究。对外延片而言,其表面质量较为显著,且直接影响到外延片自身的整体质量,因此很有必要对外延片经常出现的表面质量问题,如颗粒、暗点、滑移线等主要问题及其他相关问题进行研究和分析。本文主要对影响外延片表面质量的主要问题,包括颗粒、暗点和滑移线及其他相关问题进行研究和探讨,并针对上述存在的问题提出针对性的改善措施,以使得我国半导体材料能够更优质的发展。希望本文能够给相关行业内人员提供一点小小的启发和帮助。
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