作者：赵辉; 庄恩泽; 沙双庆; 金杨林曝光工艺解析能力opc
摘要：曝光工艺技术在TFT-LCD生产制造中担当着举足轻重的角色,文章详细地介绍了OPC技术的基本概念及应用,并且详细地说明了OPC技术如何引用到TFT-LCD 曝光工艺生产中。最后展示了OPC技术成功引入到曝光工艺生产中的成果。OPC技术极大地提高了曝光工艺的解析能力,提升了产品竞争力,有着极高的经济价值,也为相关领域的生产和研究提供了一定的参考。
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《科学与信息化》（CN：12-1451/N）是一本有较高学术价值的大型旬刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《科学与信息化》杂志坚持正确的舆论导向，介绍信息化技术及其应用知识，传播科学理念，倡导创新精神，普及提高大众信息化知识水平。
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