作者：殷涛氮化镓湿法蚀刻光辅助
摘要：通过对GaN材料湿法蚀刻的研究入手,进一步对蚀刻技术做一个概括,回顾不同的湿法蚀刻技术对比其特点。并从对GaN上进行湿法蚀刻的过程中,探究湿法蚀刻的工艺原理和最终效果。针对GaN材料蚀刻方法中光辅助化学湿法蚀刻与p-GaN材料湿法蚀刻之间的不同进行探讨和应用领域的调研。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
《科学与信息化》（CN：12-1451/N）是一本有较高学术价值的大型旬刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《科学与信息化》杂志坚持正确的舆论导向，介绍信息化技术及其应用知识，传播科学理念，倡导创新精神，普及提高大众信息化知识水平。
省级期刊
人气 753982 评论 72
人气 485038 评论 71
人气 465070 评论 66
部级期刊
人气 442180 评论 69
