作者：郝慧琴pn结滚槽法染色液
摘要：在结型半导体器件中,PN结的质量对器件特性影响很大。结深是检测PN结的重要参数之一。使用滚槽法,并用化学染色液显示PN结位置,是一种简单方便的方法。不同的染色液显现PN结形貌受到PN结固有性质、染色溶液的成分、染色时间等的影响。综合来看,铬酸染色液在实际中的应用效果较好。
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