作者:谢胜平mems微细加工封装
摘要:MEMS即微型机械电子系统,集微电子学,纳米技术,力学和微细加工技术,是现代多学科融合的成果。它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、尤其具有更高的可靠性,同时,其微小的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。
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《科学技术创新》(CN:23-1600/N)是一本有较高学术价值的大型旬刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《科学技术创新》杂志以刊登实用信息技术转让科研成果为主要内容,侧重于科研成果转让,同时为广大科技、经济工作者提供一个展示平台,以弘扬科教兴国、科学技术是第一生产力为办刊宗旨,读者对象为广大科技、经济教育工作者和中小企业。
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