作者：陈淼; 陈浩; 王洪涛; 聂英斌类金刚石薄膜摩擦学性能热稳定性内应力掺杂多层膜
摘要：本文综述了类金刚石薄膜材料常用的制备工艺及其相应结构和摩擦学性能。针对该薄膜材料在应用过程中存在的热稳定性差及内应力较大两方面问题,阐述了目前应用较为广泛的解决工艺。结合DLC薄膜优异的摩擦学性能展望了其在空间固体润滑技术领域以及新能源领域广泛的应用前景。
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《科学技术创新》（CN：23-1600/N）是一本有较高学术价值的大型旬刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《科学技术创新》杂志以刊登实用信息技术转让科研成果为主要内容，侧重于科研成果转让，同时为广大科技、经济工作者提供一个展示平台，以弘扬科教兴国、科学技术是第一生产力为办刊宗旨，读者对象为广大科技、经济教育工作者和中小企业。
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