作者：王海波sic氢等离子体ecrrheedxps
摘要：我们采用ECR-PEMOCVD等离子体系统在200℃下对SiC表面进行了氢处理。处理前后我们对SiC表面做了RHEED和XPS分析。通过分析我们发现经过氢等离子体处理的SiC表面比传统湿法的SiC表面平整度更高,C/C-H的含量显著下降,抗氧化能力显著提高提高。
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《科学技术创新》（CN：23-1600/N）是一本有较高学术价值的大型旬刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《科学技术创新》杂志以刊登实用信息技术转让科研成果为主要内容，侧重于科研成果转让，同时为广大科技、经济工作者提供一个展示平台，以弘扬科教兴国、科学技术是第一生产力为办刊宗旨，读者对象为广大科技、经济教育工作者和中小企业。
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