作者：赵桂芳; 江超功能薄膜高气压辉光放电微空心阴极放电薄膜制备
摘要：首先概括了功能薄膜的特性、制备方法及其应用领域。然后,介绍了微空心阴极放电的基本结构及应用。最后,利用微空心阴极放电设计了一种新型制备功能薄膜的装置,对该装置的设计过程、工作原理和特点进行了详细的论述。
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《科学技术创新》（CN：23-1600/N）是一本有较高学术价值的大型旬刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《科学技术创新》杂志以刊登实用信息技术转让科研成果为主要内容，侧重于科研成果转让，同时为广大科技、经济工作者提供一个展示平台，以弘扬科教兴国、科学技术是第一生产力为办刊宗旨，读者对象为广大科技、经济教育工作者和中小企业。
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