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薄膜损伤机制研究取得新进展

作者:乐毅薄膜元件损伤机制上海光学精密机械研究所激光损伤结构性缺陷重点实验室中国科学院激光加工

摘要:[本刊讯]中国科学院上海光学精密机械研究所中科院强激光材料重点实验室提出利用飞秒激光加工坑点.揭示了来源于基底表面的结构性缺陷诱导薄膜元件激光损伤的机制,突破了传统的仅关注薄膜自身性能的视角,为进一步提升薄膜元件的抗激光损伤能力提出了新的方向。相关研究成果发表在Opt Lett,2015,40 (16):3731-3734和Opt Left,2015,40 (7): 1330-1333上。

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