作者：方德声电子制造技术革新国家自然科学基金委员会北京航空航天大学上海交通大学大连理工大学华中科技大学清华大学
摘要：据国家自然科学基金委员会2007年9月14日报道．由上海交通大学、清华大学、中南大学、大连理工大学、华中科技大学和北京航空航天大学联合承担的项目“先进电子制造中的重要科学技术问题研究”．围绕两大科学问题“相对运动表面间的原子、分子和纳米粒子行为”和“极限制造的复杂系统高精度协同运动规律与控制”。取得了突出的理论和技术进展，主要创新性成果如下。
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