作者:Samuel; K.Moore极紫外光刻晶圆自动处理机水质分析仪功率调节器地下厂房垂直高度制造工具
摘要:有人对我说:“晶圆厂就像一座冰山。”我分不清是谁在说话、因为所有人从头到脚都裹在洁净服里。参观位于纽约州马耳他的格芯公司第8晶圆厂无疑让这个比喻更加形象。我们刚刚走出第8晶圆厂的“子工厂”,那是垂直高度达10米的地下厂房,管道和电线从上方的各种半导体制造工具中蜿蜒而下,连接到化学品自动处理机、水质分析仪、功率调节器以及千瓦级的激光器上。而这个激光器,正是我们此行参观的主要目的。
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