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极紫外光刻终于做好准备,即将进入晶圆厂

作者:Samuel; K.Moore极紫外光刻晶圆自动处理机水质分析仪功率调节器地下厂房垂直高度制造工具

摘要:有人对我说:“晶圆厂就像一座冰山。”我分不清是谁在说话、因为所有人从头到脚都裹在洁净服里。参观位于纽约州马耳他的格芯公司第8晶圆厂无疑让这个比喻更加形象。我们刚刚走出第8晶圆厂的“子工厂”,那是垂直高度达10米的地下厂房,管道和电线从上方的各种半导体制造工具中蜿蜒而下,连接到化学品自动处理机、水质分析仪、功率调节器以及千瓦级的激光器上。而这个激光器,正是我们此行参观的主要目的。

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科技纵览

《科技纵览》(CN:10-1080/N)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《科技纵览》旨在探讨未来技术发展趋势及其对社会和商业的影响,主要内容为报道国际航空航天、计算机和电信、生物医学工程、能源和消费电子等领域的最新技术进展和成果。

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