MEMS传感器技术发展现状与趋势

作者：刘进长; 刘振忠; 张建mems传感器技术发展现状电子技术基础多学科交叉传感器技术技术方向中国制造国内外

摘要：MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）传感器是在微电子技术基础上发展起来的、多学科交叉的前沿技术方向,在＂中国制造2025＂和＂工业4.0＂中发挥着关键作用。本文对MEMS传感器技术国内外发展现状与趋势进行了分析,并提出了我国进一步发展重点和对策建议。

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