作者：骆彬威; 杨尚维扫描探针显微镜微纳结构深度测量校准方法
摘要：扫描探针显微镜在现代医疗、物理、化学等领域应用广泛,其微纳结构深度测量也因此得到普遍关注。文章尝试分析扫描探针显微镜下微纳结构深度测量的校准方法,首先以机械探针、光学探针建立模拟实验,再结合结果分析影响测量精度的因素,最后据此分析校准方法,给出运用自动化技术、容错技术等内容。
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《科技创新与应用》（CN：23-1581/G3）是一本有较高学术价值的大型旬刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《科技创新与应用》具有一定学术和应用价值的学术文献和反映各学科、各领域的新成果、新工艺、新产品等方面的论述文章，为科技工作者搭建学术交流平台。
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