控制外延层过渡区改善Icm参数

作者：贾云波; 陈建标; 孙斌icm参数外延过渡区自掺杂

摘要：双极型晶体管的Icm参数是衡量其大电流特性的重要参数,Icm的定义为：共发射极电流放大倍数下降最大值的一半时所对应的集电极电流。Icm参数是衡量晶体管大电流特性的重要参数,通过优化工艺,可以有效减少外延材料过渡区宽度,并且在Gemini2外延炉上生产出的外延材料Icm参数已达到国内先进水平。

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