氮化铝表面热氧化的分子动力学研究

作者：文于华; 张梅; 金佳鸿; 汤莉莉氮化铝分子动力学热氧化

摘要：采用分子动力学方法对氮化铝材料的表面热氧化过程进行了研究,开发了包含Al、N和O三种元素的反应势,探讨了氧化温度和时间对材料结构的影响。发现温度越高氧化反应越容易进行,氧扩散进入纤锌矿结构的氮化铝表面后会生成Al-O-N无定型结构的氧化膜,氧化时间增长时会阻止材料的进一步氧化。

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