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集成电路企业节水管理和水平衡测试案例分析

作者:吴瀚集成电路企业节水管理水平衡测试回收利用

摘要:集成电路的生产过程中需要消耗大量的纯水,用于设备冷却、晶片清洗和切割定型等工艺流程。纯水机组是用水量最大的设备,在制备纯水的同时也产生了大量的浓水。某企业经过改造,将产出的浓水充分利用于冷却塔补水、绿化喷淋、如厕用水等用水点,取得了较好的效果。该文以该企业作为考察案例,通过企业水平衡测试,准确地分析了企业的用水情况和评价企业的用水管理水平,为进一步挖掘节水潜力,为企业制定用水目标和计划提供科学的依据。

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科技创新导报

《科技创新导报》(旬刊)创刊于2004年,由中国航天科技集团公司主管,中国宇航出版有限责任公司;北京合作创新国际科技服务中心主办,CN刊号为:11-5640/N,自创刊以来,颇受业界和广大读者的关注和好评。

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