作者：宁润涛; 赵欢; 王秀明功率mosfet元胞工艺流程
摘要：对几种常见功率MOSFET的元胞结构、工艺流程和电学参数特点进行了介绍和分析,指出了各类元胞结构的优缺点和工艺实现上的难点,给出了对不同的电压范围应采用的元胞结构的意见。
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