作者：胡志杰; 李争显电弧离子镀离子蒸发源研制
摘要：阐述了双金属电弧离子蒸发源的设计原则及结构。利用双金属电弧离子蒸发源成功制备了TiAlN膜层,并对优化的制备参数做了简要介绍。
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《科技创新导报》（旬刊）创刊于2004年，由中国航天科技集团公司主管，中国宇航出版有限责任公司;北京合作创新国际科技服务中心主办，CN刊号为：11-5640/N，自创刊以来，颇受业界和广大读者的关注和好评。
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