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Au原子在Si(001)表面扩散的第一原理研究

作者:琚伟伟; 李同伟; 王辉; 巩晓阳; 汤正新; ...第一原理au吸附扩散

摘要:本文用第一原理总能理论研究了金属Au在Si(001)面的吸附与扩散。计算表明,Au原子的稳定吸附住置处于顶层四个Si原子的中心,当Au原子处于其它位置时,体系能量较高,Au原子容易向稳定位置扩散。在热运动下,Au原子向衬底内部扩散需要克服较小的势垒,这可能是Au/Si(001)界面存在混合层的原因之一。

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科技创新导报

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