作者：蔡立辉; 张涛; 方前锋; 杨俊峰磁控溅射硬质涂层氮化物钨钼
摘要：利用直流反应磁控溅射技术,在不锈钢和硅衬底上分别制备了三元MoCN、MoSiN、MoAlN、MoWN、WTaN及四元MoAlSiN、MoSiCN、WSiCN涂层。利用XRD、XPS、TEM、SEM等方法分析了薄膜的微观结构和表面形貌;利用纳米压痕仪、划痕仪、摩擦磨损测试仪、以及热重分析法测试了薄膜的硬度、膜基结合力、摩擦系数、及抗氧化温度。结果表明四元MoSiCN、WSiCN涂层具有更加优异的综合性能,可望向工业领域转化。
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