作者：王佳荣; 韩太林; 冯驰数字光刻灰度光刻微立体光刻
摘要：数字微镜器件（Digital Micro-mirror Device,DMD）作为数字光处理技术（Digital Light Processing,DLP）的核心，可通过控制其反射微镜的偏转实现全数字化成像。基于DMD的数字光刻系统采用动态数字掩模的曝光方式，分辨率高、速度快、加工面积大，可用于制作复杂三维结构和表面浮雕结构。本文阐述了DMD的基本结构和工作原理，分析了其灰度调理机制和投影成像特性,介绍了基于DMD的数字光刻技术的两个重要研究方向：灰度光刻技术和微立体光刻技术，具体探讨了DMD在两种技术中的应用。
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