作者:李严; 薛娓娓; 杨延宁金刚石半导体
摘要:金刚石具有很强的抗辐射性.耐腐蚀性能,被誉为发展前途广阔的第三代半导体材料。本文将从纳束金刚石半导体薄膜的研究现状出发,并详细分析了使用纳束金刚石薄膜压力传感器,并通过实验的方式制作与完成整个传感器的模拟实验。
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