作者：刘晓东; 郑晓泉; 张要强; 曲文波等离子体郎缪尔探针法微波透射法光谱法
摘要：低温等离子体是空间主要环境之一，近年来也被广泛应用于能源、航空、环境科学、国防及材料表面改性等方面。详细的分析了等离子体诊断的常用方法和适用范围。认为准确进行等离子体诊断取决于两大因素。一是测量准确度（灵敏度）。二是测试系统不对等离子体产生较大扰动。
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