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压电叠堆泵微位移放大机构的试验研究

作者:刘登云; 杨志刚; 程光明; 曾平压电叠堆放大机构柔性铰链三角形放大

摘要:提出了一种应用于压电叠堆泵的微位移放大机构,该机构以压电叠堆(积层式压电微位移器)为驱动元件,通过基于三角形放大原理的柔性铰链放大机构,放大压电叠堆的输出位移。同时,设计、研制了实验装置,并在试制样机上对其静、动态特性进行了实验。实验测试结果表明,该机构具有线性良好、高分辨率和高频响应等特点。

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机械与电子

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