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振子框架式微机械陀螺设计优化

作者:余才佳; 霍鹏飞; 马炳和; 苑伟政; 姜澄宇微机电系统微机械陀螺多端口组件网络硬件描述语言

摘要:采用多端口组件网络方法对振子框架式微机械陀螺(CGMG)进行设计,分析了主要结构尺寸对其固有频率的影响.根据陀螺驱动模态频率和检测模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸.结果表明,该方法可以实现MEMS整体行为的快速仿真,并能分析局部尺寸参数对系统性能的影响.

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机械与电子

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