中国电子科技集团公司键合机全自动划片机产业化示范工程项目分步投影光刻机ic制造设备研究工艺应用
摘要：中国电子科技集团公司第四十五研究所是国家电子专用设备研究、开发、制造和相关制作工艺应用研究的专业研究所.是国内唯一具备提供IC制造关键设备--分步投影光刻机的研发单位,是国家IC封装设备产业化示范工程项目承担单位.
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《机械设计与制造工程》（CN：32-1838/TH）是一本有较高学术价值的大型月刊，自创刊以来，选题新奇而不失报道广度，服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《机械设计与制造工程》办刊宗旨为：报道机械行业科研动态，刊载行业技术创新成果，促进先进设计、制造技术及工艺在机械制造业的应用，推动我国机械制造业和科技创新能力提升。
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