微细游离磨粒借助流体动压力实现的超精密加工技术

作者：李长河; 修世超; 蔡光起微细游离磨粒流体动压力超精密加工

摘要：精密加工是先进制造方法的重要组成部分,利用微细游离磨粒进行陶瓷、玻璃、半导体等光学零件的超精密加工,不仅可获得高的表面质量,微米级的形状精度和纳米级表面粗糙度值,而且还可得到无加工变质层超精密加工表面.这里主要论述了流体动压力实现的条件及动压浮起平面研磨、浮动抛光、弹性发射加工以及砂轮约束磨粒喷射加工等微细磨粒借助于流体动压力实现超精密加工技术.

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