作者:何淼; 吴校生; 陈文元; 张卫平磁悬浮微陀螺转子微机电系统微细加工
摘要:微陀螺是微小卫星、微飞行器等装备中不可缺少的惯性器件,磁悬浮转子陀螺能克服机械支承和定位的摩擦,使之可以达到普通陀螺的精度要求.本文介绍了磁悬浮转子微陀螺的基本原理,根据产生电涡流、保持稳定悬浮和旋转的需求,对转子进行了设计,对比研究了溅射、蒸镀、冲压等三种加工微转子的方法,悬浮试验证明冲压铝箔法制备的转子能够满足微陀螺的要求.
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