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基于MEMS技术的三维测量系统研究

作者:杨学文; 敖良忠; 马瑞阳mems三维测量相移法

摘要:通过结合光学MEMS(Micro Electro-Mechanical System)技术对三维测量系统进行了深入研究,分析了基于MEMS的三维测量系统测量原理,完成了三维测量系统核心器件选择及测量系统的搭建,对三维测量系统的三维结构进行了设计,并对安装壳体三维结构图、器件安装板安装示意图以及测量系统整体装配效果图进行了绘制。

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机械工程与自动化

《机械工程与自动化》(CN:14-1319/TH)是一本有较高学术价值的大型双月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《机械工程与自动化》主要报道计算机应用、机械设计及加工、机械传动、机电一体化、材料与工艺、仪器仪表、自动化技术及技术管理等机电工程方面各学科的最新科研成果、应用技术和发展动态。主要读者为大专院校的师生、科研院所的研究人员和广大工厂企业的科技人员。

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