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集成电路ESD注入损伤效应及注入电压与能量间的关系

作者:谭志良; 刘尚合; 林永涛; 刘存礼; 国海广...esd电压能量效应损伤集成电路芯片曲线拟合静电放电数学模型模拟器示波器峰值平均散点图

摘要:利用静电放电(ESD)模拟器对集成电路芯片进行电压注入损伤效应实验,通过存贮示波器记录的波形进行乘法和积分运算,得到对应注入电压下芯片上吸收的平均峰值功率和能量.对放电电压与平均峰值能量作散点图,采用曲线拟合的方法对离散点进行拟合,针对该曲线拟合的方法进行了分析,最终建立了ESD注入电压与平均峰值能量之间的数学模型.

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军械工程学院学报

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