作者：彭光含; 杨学恒; 辛洪政; 刘济春; 李旭原子力显微镜镜体微悬臂硬件设计
摘要：在成功研制高精度IPC-205B型STM基础上对硬件设计和软件配备进行改进，研制开发了更高精度和应用更广的原子力显微镜。阐述该原子力显微镜的工作原理、组成及应用，详细介绍镜体的独特设计与控制过程、微悬臂的制作与工作过程。该样机采用简单适用的新型微悬臂，利用扫描隧道显微镜检测微悬臂的起伏，通过四维机械驱动和双压电陶瓷扫描，能够有效提高扫描精度、扩大扫描范围。该原子力显微镜的分辨力为：横向0．1nm，纵向0．01nm。给出该机型检测的几种样品的扫描图像。
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