作者：张洁; 翟文彬; 严隽琪; 马登哲半导体生产线重调度模糊神经网络
摘要：针对缺乏半导体生产线重调度策略优化方法的研究现状,提出了基于模糊神经网络的半导体生产线重调度策略优化技术.将重调度策略划分为半导体生产线、设备组和设备重调度层次,利用仿真评价确定优化的重调度策略,并获得样本数据.通过对模糊神经网络训练,建立干扰和半导体生产线状态等输入参数与优化的重调度策略输出之间的映射关系.以上海某125 mm晶圆生产线为例,结果表明了该重调度策略优化方法的有效性.
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