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耐高温合金薄膜压力传感器的设计及仿真分析

作者:谭苗苗高温压力传感器合金薄膜仿真

摘要:研制高温恶劣环境适用的压力传感器具有重要的工程实际意义。文中设计了以蓝宝石为弹性膜片,溅射合金薄膜为应变电阻的耐高温压力传感器。通过有限元软件计算分析了弹性膜片的应力应变分布,并对膜片厚度进行了优化设计。

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机械工程师

《机械工程师》(CN:23-1196/TH)是一本有较高学术价值的大型月刊,自创刊以来,选题新奇而不失报道广度,服务大众而不失理论高度。颇受业界和广大读者的关注和好评。 《机械工程师》重点报道制造业的新技术、新工艺、新设备及来自于生产第一线的工厂经验等,内容涵盖金属加工领域(机床、工具、数控系统/功能部件、量具量仪、机床附件)、传动控制领域(减变速机、联轴器、离合器、制动器、皮带、同步带、皮带轮、同步轮、液压、气动、密封元件)、通用机械领域(起重设备、空气压缩机、泵类产品)、机械基础件领域(轴承、弹簧、紧固...

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