微加工系统纳米光子学超细制成激光加工系统研制项目定位精度项目合同
摘要：中科院理化技术研究所承担的仪器研制项目”纳米光子学超细微加工系统”近日通过中科院综合计划局组织的专家验收。现场加工测试结果表明．所研制的纳米光子学超细微加工系统最小加工分辨率小于80nm，加工定位精度达到10nm．最大加工范围达到560μm．具备了良好的三维加工能力。专家组认为，该项目按照项目合同的要求，全面完成了合同任务书规定的各项任务．技术指标先进。这种可同时具有纳米尺度的加工分辨率和较大尺度范围的激光加工系统尚未见报道，具有创新性。在加工速度、范围及精度方面处于国际先进水平。
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