作者：谢建军; 王宇; 汪暾; 王亚黎; 丁毛毛; 李...表面金属化直接敷铜工艺aln陶瓷界面结合强度
摘要：通过直接敷铜(DBC)工艺,在AlN陶瓷基板表面于1 000~1 060℃的敷接温度下制备Cu/AlN材料,利用机械剥离机、场发射扫描电子显微镜和X射线衍射仪分析了Cu/AlN的界面结合强度、界面微观形貌和物相组成。结果表明:铜箔和AlN陶瓷基板间的结合强度超过了8.00N·mm-1,铜箔和AlN陶瓷之间存在厚度约为2μm的过渡层,过渡层中主要含有Al2O3、CuAlO2和Cu2O化合物;随着敷接温度升高,Cu/AlN的界面结合强度逐渐增大。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
